洛阳单晶硅半导体产业园试生产成功高纯度硅棒助力集成电路国产化-洛阳产业园区

洛阳单晶硅半导体产业园试生产成功高纯度硅棒助力集成电路国产化

半导体产业

所属地区：河南-洛阳发布日期：2025年08月07日

近日，洛阳单晶硅有限责任公司半导体产业园取得重要进展，园区通过招商引资引入的国内领先6英寸硅片生产线进入试生产阶段，首批高纯度单晶硅棒成功下线。这一突破标志着洛阳市在半导体材料领域实现技术升级，为完善国内集成电路产业链提供了关键支撑。
一、产业园核心项目投产
洛阳高新区半导体产业园建设的年产480万片6英寸硅抛光片生产线已稳定运行。该生产线采用全自动化控制系统，产品纯度与加工精度达到国际先进水平，可满足5G通信、人工智能等领域对高端半导体材料的严苛需求。技术团队通过优化晶体生长工艺，使硅棒缺陷密度降低至行业标准的1/3。
二、技术自主创新成果
项目采用自主研发的磁场直拉法单晶生长技术，突破国外对8英寸以下硅片生产设备的封锁。产业园配备的检测中心拥有全套进口分析仪器，可对硅片表面纳米级起伏、氧含量等12项参数进行精确测量。目前试产硅片的翘曲度控制在0.2微米以内，优于国内同类产品30%。
三、产业链协同效应显现
作为河南省重点建设的半导体材料基地，该产业园已吸引7家上下游企业入驻，形成从多晶硅提纯、单晶硅制备到晶圆加工的完整生态。园区与国内三大芯片制造企业达成战略合作，试产产品将用于功率器件、传感器等特色工艺芯片制造。
四、行业战略意义深远
该项目的投产使我国6英寸硅片产能提升15%，有效缓解进口依赖。行业专家指出，洛阳半导体产业园的规模化量产能力，将为第三代半导体碳化硅晶圆的研发积累关键技术经验。地方政府计划三年内追加投资扩建8英寸生产线，进一步巩固区域半导体材料产业集群优势。
目前，产业园二期工程已启动规划设计，未来将形成年产1200万片硅片的综合产能。这一重大进展不仅强化了洛阳市在新材料产业的技术话语权，更为我国半导体产业链安全可控发展提供了重要保障。

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